質量標準:
| 分子式:HF 分子量:20.01 | |||
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			 序號  | 
			
			 項目  | 
			
			 單位  | 
			
			 規(guī)格值  | 
		
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			 1  | 
			
			 氫氟酸 (HF)  | 
			
			 wt%  | 
			
			 ≥99.999  | 
		
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			 2  | 
			
			 氯化物(Cl)  | 
			
			 ppb  | 
			
			 ≤100  | 
		
| 
			 3  | 
			
			 硝酸鹽 (NO3)  | 
			
			 ppb  | 
			
			 ≤100  | 
		
| 
			 4  | 
			
			 磷酸鹽(PO4)  | 
			
			 ppb  | 
			
			 ≤100  | 
		
| 
			 5  | 
			
			 硫酸鹽(SO4)  | 
			
			 ppb  | 
			
			 ≤100  | 
		
| 
			 6  | 
			
			 硅(Si)  | 
			
			 ppb  | 
			
			 ≤100  | 
		
| 
			 7  | 
			
			 鐵(Fe)  | 
			
			 ppb  | 
			
			 ≤50  | 
		
| 
			 8  | 
			
			 鎳(Ni)  | 
			
			 ppb  | 
			
			 ≤50  | 
		
| 
			 9  | 
			
			 鉻(Cr)  | 
			
			 ppb  | 
			
			 ≤50  | 
		
| 
			 10  | 
			
			 銅(Cu)  | 
			
			 ppb  | 
			
			 ≤50  | 
		
| 
			 11  | 
			
			 鈉(Na)  | 
			
			 ppb  | 
			
			 ≤50  | 
		
| 
			 12  | 
			
			 鈣(Ca)  | 
			
			 ppb  | 
			
			 ≤50  | 
		
性狀: 
無色透明液體,在空氣中冒白煙,有強烈刺激性氣味,劇毒,并有強烈的腐蝕性,沸點19.5℃。
用途: 
半導體蝕刻。
貯存: 
貯存在帶棚的庫房中。嚴禁暴曬,嚴禁與易爆物品混放。
運輸: 
按一級無機酸性腐蝕物品對待。
包裝: 
用中壓高純鋼瓶包裝,每瓶4L、10L、40L或依客戶要求。
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